微波放电-深圳纳恩科技有限公司

微波放电(MicrowaveDischarges)

微波放电是将微波能量转化为气体分子的内能，使之激发、电离以产生均匀的非平衡等离子体，为无电极放电。一般采用的频率较高，通常频率在300MHz到 300GHz，典型的工作频率为 2.45GHz。

微波放电原理为反应气体中的电子在微波场下获得足够能量被加速，加速后的电子与气体分子发生碰撞，使其发生电离，产生更多的自由电子和离子。随着电子和离子密度的增加，等离子体介质参数也随之发生变化，引发电磁场变化，导致电离参数改变。此外，电子和离子还存在复合和扩散运动。因此，这是一种微波与等离子体相互作用、相互耦合的非线性过程。微波放电具有等离子体密度高、能耗低和效率高等优点，相较其他放电方式而言，其发射光谱谱带更宽。由于微波放电的电离度和气体活化程度均较高，因而能在低温下获得和维持具有更高能量的等离子体，适于对温度敏感物料进行处理，但其设备造价较高。微波电子回旋共振是一种典型的微波放电装置，其结构见图1-1。

图1-1 ECR 微波等离子体放电装置